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千級潔凈棚采用鐵方通噴塑、不銹鋼方通、鋁型材作為框架,FFU(風機過濾單元)送風,四周懸掛防靜電垂簾或鋼化玻璃,內部凈化級別可達到靜態100-10000級(美聯邦209E標準)。潔凈棚適用于操作區內局部凈化級別要求高的區域。
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